臭氧具有氧化消毒殺菌能力。不僅能徹底降解水中所含的有害成分，還能去除重金屬離子及各種有機物及其他雜質，如鐵、錳、硫、苯、甲醛、有機磷等。
臭氧是一種強氧化劑。在水中具有比氯和二氧化氯更強的氧化能力。能破壞細胞壁，分解細菌，迅速擴散滲透到細胞內，氧化分解細菌樣品、葡萄汁、葡萄糖氧化酶等內部氧化。細菌、病毒、細胞損傷、核糖核酸（RNA）、DNA、RNA、蛋白質、脂類和多糖等大分子聚合物的直接分解破壞了細菌的代謝和繁殖過程。需要指出的是，與次氯酸消毒劑不同，臭氧的殺菌能力不受pH值變化和氨的影響。其殺菌能力是氯的600-3000倍。它的消毒殺菌效果幾乎是瞬間的。濃度為0.3-2mg/L，0.5-1min可在殺菌的同時達到殺菌效果。
使用多點混合方式（管道混合、回液罐、清液罐）均添加臭氧，有效控制細菌。能有效的去除切削液中的細菌滋生，并能保護刀具不會受損產品不會被細菌中的酸性腐蝕掉。
